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涵盖半导体行业单晶硅片,EPI片的诸多检测分析项目,例如:晶圆表面金属含量分析、晶圆晶格缺陷应力分析,少数载流子寿命分析,少数载流子扩散长度分析,电阻扩展分析等等,有意者沟通
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2024-01-01 18:37
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以下为ICPMS+VPD的量测晶圆表面金属含量,包含了表面和倒角两种模式
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下图为穿透式X 射线衍射仪分析的单晶硅片晶格缺陷的应力分布
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2024-01-02 14:50
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