碳化硅衬底研磨抛光方案可以关注下无锡吉致电子官网。
碳化硅衬底抛光一般需经过研磨和抛光工艺。研磨工艺分为粗磨和精磨，研磨时可同时搭配研磨垫一起使用。抛光工艺分为粗抛和精抛，一般采用粗抛液+无纺布粗抛垫、精抛液+阻尼布精抛垫的方式进行抛光。