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蓝宝石清洗为什么洗不干净,残留污渍或者颗粒

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在蓝宝石衬底片的大批量生产中,常常会出现清洗效果差,不得不返工造成的生产效率低下的现象,如何提高清洗效果,减少污渍及颗粒的残留,成为各公司迫在眉睫的问题。
我们和大家进行一些经验分享,同时给一些在产线中可以有效改善该问题的建议。
(1)正式清洗前的预处理:晶片抛光后表面残留一些氧化铝颗粒,蓝宝石碎屑,都极易造成沉积,难以清洗。且在水中浸泡、或放置一段时间后,抛光液中的一些螯合剂、氧化剂会影响沉积物,使其在晶片表面粘接牢固,更加难以清洗。
建议在正式清洗前多加一个预处理步骤,使用预泡液对抛光后的晶片进行表面活化处理。
(2)清洗剂的分散能力差或者杂质离子多:一般清洗剂的活化能力较强,但大部分缺乏良好的分散性,在多次使用后会造成污渍或者颗粒的堆积,在超声冲洗的过程中可能会再次粘接在晶片表面,造成污染。
建议使用分散性较好,引入杂质金属污染较少的清洗剂。
欢迎各位多多分享经验,互相交流~


IP属地:广东来自iPhone客户端1楼2023-08-07 10:49回复