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NILT纳米压印模板 纳米压印模板 模片 母模

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关键字:NILT纳米压印模板,纳米压印硅模板,NILT纳米压印母模,热压印模片
型号:SILICONNIL STAMPS ……
硅、石英、聚合物、镍、PDMS材质,NILT纳米压印模板,模片,母模


丹麦NIL TECHNOLOGY Aps(NILT) 公司除了提供纳米压印机外,还供应各类材质,各类功能的纳米压印模板,模片和母模,是目前重要的纳米压印模板的世界级供应商之一。其涉及的应用十分广泛,包括光电相关的如折射膜、增光膜、抗反射膜,线路网格、传感器和疏水膜HYDROPHOBIC FILM等。
其中纳米压印模板根据材质的不同分为硅质模板(Silicon NIL Stamps),石英 QUARTZ 模板 (Fused Silica NIL Stamps),镍模片 (Nickel SHIM),聚合物模板 (Polymer NIL Stamps),PDMS 掩膜 (PDMS NIL Stamps)
NILT米压印模板可以根据客户要求,设计出符合需求的纳米/微米图形,其母模的制造通常会用电子束光刻E-BEAM LITHOGRAPHY或紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY,激光干涉蚀刻法几种工艺来制造。NILT能够为石英或硅晶圆模板为母模,并从中中复制出聚合物、镍、PDMS材质的模片,模板一般以硅晶圆或切割成方块交货给客户作为托底。
NILT硅质模板 (SILICON NIL STAMPS)
丹麦NILT是目前重要硅模板的顶级供应商之一,涉及的应用十分广泛,例如生物科技、蓝宝石图形化PSS。一般通过电子束E-BEAM LITHOGRAPHY, 紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY 或NIL 刻蚀出硅模板,模板上可根据客户需求设计纳米图形。硅NIL模板可以以硅晶圆或切割成方块交货,还可再造出聚合物模片或镍掩膜。
规格:
规格
模板材料 硅材质
模板尺寸(晶圆形状) 2, 4, 6英寸
模板尺寸(方形) 从晶圆切割的任何方形格式
模板厚度 2mm
最小横向尺寸 20 nm
宽高比 最高1:10(取决于模式)
可定制 客户指定
设计文件格式 gds,dxf,tdb
防粘 FDTS(可选)
交货时间 通常为4周
NILT熔融石英模板 (FUSED SILICA NIL STAMPS)
熔石英模板因为透明度高所以用得最多应该是在UV纳米压印UV NIL。
规格:
规格
模板材料 used silica (Quartz)
模板尺寸(晶圆形状) 2", 4", 6"
模板尺寸(方形) Any format cut from wafers
模板厚度 1 mm (other upon request)
最小横向尺寸 20 nm
长宽比 Up to 1:5 (pattern dependent)
设计 Customer specified
设计档案格式 gds, dxf, tdb
防粘 FDTS (optional)
交货时间 Typically 4 weeks
NILT镍模片 (NICKEL SHIM)
NILT可以从硅晶圆、聚合物或石英材质的模板中复制出镍片。镍掩膜的形状为四方或长方形,尺寸可达600mm X 60mm. 镍模片在纳米压印技术上应用甚广,包括光电相关的如增光膜、抗反射膜,在医学领域和实验室晶片LAB-ON-A-CHIP。
规格:
规格
模片材料 Nickel
硬度 Different alloys are available
模片尺寸 2", 4", and square up to 600 mm x 600 mm
模片厚度 100 um — 2 mm
最小横向尺寸 100 nm
长宽比 Up to 1:3 (pattern dependent)
设计 Customer specified
设计档案格式 gds, dxf, tdb
防粘 FDTS (optional)
交货时间 Typically 4-6 weeks
聚合物母模 (POLYMER NIL STAMPS)
NILT同样不会对图形设计作出任何限制。聚合物可以从石英或硅晶圆复制出来,一般交货时都以硅晶圆片托底。聚合物模板的应用很广,包括折射膜、线路网格、传感器和疏水膜HYDROPHOBIC FILM。
PDMS 母模 (PDMS NIL STAMPS)
PDMS的母模制造通常会用电子束E-BEAM LITHOGRAPHY,NIL蚀刻或紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY,可按客户需求设计纳米图形。 PDMS模片可以从石英或硅晶圆复制出来,一般交货时都以硅晶圆片托底。可应用于MICROFLUIDICS & LOC SHIMS 微流控器&实验室晶片,微流控器&实验室晶片。
规格:
规格
模板材料 PDMS
模板尺寸(晶圆形状) Up to 6 inch round
模板厚度 1 mm (other upon request)
最小横向尺寸 20 nm
长宽比 Up to 1:3 (pattern dependent)
设计 Customer specified
设计档案格式 gds, dxf, tdb
防粘 FDTS (optional)
交货时间 Typically 4 weeks


1楼2018-12-14 09:14回复