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SJ5701粗糙度轮廓测量仪的测量原理

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  SJ5701粗糙度轮廓测量仪为全自动测量设备,操作者只需装好被测工件,在检定软件上设定扫描的开始、结束位置,点击【开始】按钮,测针会自动接触工件表面,并按设定的位置扫描;可高精度地测量精密加工零部件的粗糙度和轮廓形状,再选择所需评价参数即可进行评价。

一、 技术指标
1. 粗糙度测量:
●基本参数:
测量范围:X轴:200mm,Z1轴:±80µm、±40µm、±20µm
直线度误差:≤0.15µm/20mm,≤0.5µm/200mm
示值误差:±5%
分辨率:Z1轴0.04µm(±80µm)、0.02µm(±40µm)、0.01µm(±20µm)
测量速度:0.5mm/s和0.1mm/s可调
●硬件结构:
测针:标准型(高度小于8mm)1支,触针半径2µm,静态测力0.75mN;
大理石平台:尺寸≥800×450mm;
电动立柱:高度≥450mm;
●测量软件
依照ISO3274等国际标准,能自动选取截止波长;
●测量参数
R粗糙度:Ra、Rq、Rz、Rmax、Rpc、Rz-JIS、Rt、Rp、Rv、R3z、RSm、Rs、Rsk、Rku、Rdq、Rlq、Rdc、RHSC、Rmr、Rz-L、Rp-L、R3z-L、Rdc-L、RMr-L、Pdc-L、PMr-L;
核心粗糙度:Rk、Rpk、Rvk、Rpkx、Rvkx、Mr1、Mr2、A1、A2、Vo;
P轮廓参数:Pa、Pq、Pt、Pp、Pv、PSm、Psk、Pku、Pdq、Plq、Pdc、PHSC、PPc、PMr;
W波度轮廓参数:Wa、Wq、Wt、Wp、Wv、WSm、Wsk、Wku、Wdg、Wdc、WMr;
Motif参数:R、Ar、W、Aw、Rx、Wx、Wte、Nr、Ncrx、Nw、Cpm、CR、CF、CL;
ISO5436参数:Pt、D;
轮廓类型:支持D、P、W、R。
●滤波器:
高斯滤波器、RC滤波器,相位修正滤波器;
滤波波段可选择,也可任意设定;
支持自动选择符合标准的过滤方式和取样长度;
2. 轮廓测量:
(1)X轴
测量范围:0~200mm;
示值误差:±(0.8+2L/100)μm,其中L为水平测量长度,单位:mm;
分辨率:0.01μm;
直线度:2μm/200mm;
测量速度:0.1~5mm/s;
移动速度:0~30mm/s。
(2)传感器Z1轴:
测量范围:±25mm;
示值误差:±(1.6+|2H|/100μm,其中H为垂直测量高度,单位:mm;
分辨率:0.01μm;
(3)Z轴:
测量范围:0~450mm;
移动速度:0~30mm/s;
(4)测量力:10~150mN;
(5)爬坡能力:上坡77 º,下坡83º;
(6)工作台:旋转角度:360度,X、Y移动:15mm。
3. 仪器尺寸:花岗岩平板800×450×100mm整机:850×500×1100mm;
仪器重量:150㎏
4. 使用环境:无强磁场,无振动,无腐蚀气体
工作温度:20℃±2℃
相对湿度:40-60%RH


IP属地:广东1楼2017-03-31 16:38回复