振华GXZ1914自动光学镀膜机 振华GXZ1914自动光学镀膜机 粗抽 莱宝SV300B 2台 莱宝罗茨泵WAU20011台精抽 光驰指定扩散泵DPM-28A2台 抽速22000L/S极限2.0E-5PA 深冷 广州协议XC3000-SH-ST 制冷量3000W-130℃ 电源 MSB中频电源40KW7台 全自动触摸屏控制一键操作 机体 6对平面靶12块靶(现有靶材配送) 1组离子源清洗1组阻蒸 主机全304不锈钢,带公自转,自转19轴 轴间距25.5CM 带加热修正尺 机体直径1914MM5路单混合气体 带硅油系统