图片引用自 FMAR-102-1: 3D NAND Process Technology: 2023 & Beyond (by Dr. Jeongdong Choe, TechInsights)
3D NAND基本存储单元Cell的单元面积(相当于垂直通道的尺寸)
3D NAND基本存储单元Cell的单元体积(相当于单元的垂直厚度和横向尺寸的乘积)
值得注意的是,
由于各家原厂制造3D NAND使用的架构不同
主要分为两大类:电荷撷取CTF 和 浮动栅极FG
下图以铠侠和闪迪使用的BiCS 与 海力士的DC-SF为代表分别说明其结构
因此,将3D NAND基本存储单元Cell的单元尺寸与2D NAND的25nm、20nm、16nm进行类比是非常不严谨的。
也请不要将单元尺寸强行与NAND的PE擦写次数和寿命简单挂钩。
最后,来一张3D NAND Die全家福
3D NAND基本存储单元Cell的单元面积(相当于垂直通道的尺寸)
3D NAND基本存储单元Cell的单元体积(相当于单元的垂直厚度和横向尺寸的乘积)
值得注意的是,
由于各家原厂制造3D NAND使用的架构不同
主要分为两大类:电荷撷取CTF 和 浮动栅极FG
下图以铠侠和闪迪使用的BiCS 与 海力士的DC-SF为代表分别说明其结构
因此,将3D NAND基本存储单元Cell的单元尺寸与2D NAND的25nm、20nm、16nm进行类比是非常不严谨的。
也请不要将单元尺寸强行与NAND的PE擦写次数和寿命简单挂钩。
最后,来一张3D NAND Die全家福